石墨舟推舟系統(tǒng) 石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，石墨舟推舟機構將退出，自動門關上。載片舟是經(jīng)特殊設計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關，所以推舟系統(tǒng)是本設備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng)：即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。 記者在現(xiàn)場看到，ABB展示針對太陽能行業(yè)的一系列先進產品、技術和解決方案，包括工業(yè)機器人、低壓產品、光伏產品以及可編程邏輯控制器。其中，專用于管式PECVD石墨舟取片/插片的ABB機器人自動工作站配備有ABB“全能冠軍”之稱的機器人IRB 1600，被廣泛應用于太陽能管式PECVD工藝流程石墨舟的取片/插片。